簡介：
滑軌式管式爐一體化結構設計，用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移
動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效
果。適合用于廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
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工作溫度RT-1000℃；
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日本進口智能程序控溫儀控制精準，可編輯、儲存并調用多段程序；
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爐殼結構，雙層爐殼風冷結構；
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不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣閥采用美標針閥；
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兩端可調式法蘭支撐結構，延長石英管使用壽命；
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LED高強度、抗破壞、全不銹鋼按鈕，經久耐用；
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超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電；
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安全保護當爐體漏電時自動斷電。
技術參數：
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設備型號
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最高溫度
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管徑
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加熱區
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溫度數
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熱偶
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電壓
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功率
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FGL(RTP)-40/11/1
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1100℃
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40mm
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320mm
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1個
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K型
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220V
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3.0kw
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FGL(RTP)-50/11/1
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1100℃
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50mm
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320mm
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1個
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K型
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220V
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FGL(RTP)-60/11/1
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1100℃
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60mm
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320mm
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1個
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K型
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220V
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FGL(RTP)-70/11/1
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1100℃
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70mm
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320mm
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1個
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K型
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220V
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FGL(RTP)-80/11/1
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1100℃
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80mm
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320mm
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1個
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K型
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220V
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