靶材簡介：
簡單的說，靶材是高速荷能粒子轟擊的目標材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。例如：蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
靶材參數：
材料純度
99.99%
材料密度
90%
靶材形狀
圓形靶材
旋轉靶材
矩形靶材
拼接靶材
最大尺寸
200mm
Ø200×60mm
200×200mm
200×1000mm
