金屬靶材簡介:
簡單的說,靶材是高速荷能粒子轟擊的目標材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。例如:蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。金屬材料濺射靶材是目前應用最廣的靶材。本公司提供的金屬靶材是通過簡單熔煉成形、磁懸浮熔煉、熱等靜壓成型、冷等靜壓成型等不同工藝制備而成。產品純度好,密度高,晶粒均勻細致,使用壽命長。
靶材參數:
材料純度
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99.99%
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材料密度
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90%
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靶材形狀
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圓形靶材
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旋轉靶材
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矩形靶材
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拼接靶材
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最大尺寸
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200mm
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Ø200×60mm
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200×200mm
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200×1000mm
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