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                GaN薄膜單晶基片
                鋁酸鋰(LiAlO2)

                簡介:鋁酸鋰單晶與氮化鎵的晶格失配率非常小(鋁酸鋰為1.4%)而成為氮化鎵薄膜的優質基片。

                參數

                晶體結構 四方(a=5.17Å,c=6.26Å)
                密度 2.62/cm3
                純度 99.99%
                熱膨脹系數 6.2×10-6/℃ at A axis,12.2×10-6/℃ at C axis
                晶向 <001>、<001>±0.5o
                尺寸 Ф15×(0.5-1)mm,Ф20×(0.5-1)mm,Ф(1″-2.6″)×(0.5-1)mm 10×3×(0.5-1)mm,10×5×(0.5-1)mm,20×20×(0.5-1)mm
                拋光 單面或雙面拋光
                表面粗糙度 ≤5Å
                封裝 100級超凈袋、單片或多片晶元盒


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